【上海水處理設備網www.esdzu.com】日前，上海發布《半導體行業污染物排放規范（征求意見稿）詳情如下：

前 言

本文件按照GB/T1.1-2020規范化工作導則 第1局部：規范化文件的結構和起草規則》規定起草。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別專利的責任。

本文件于2006年11月1日首次發布，本次修訂為第一次修訂。

本文件對DB31/374-2006主要修訂之處如下：

調整了水污染物排放標準的規范分級；將原第一類污染物兩個級別的排放規范調整為執行同一級別的排放規范，將原第二類污染物三個級別的直接排放規范調整為同一個級別；調整了大氣污染物排放規范的排放速率控制方式，將原來按不同排氣筒高度制定規范調整為執行同一規范；

調整了污染物控制項目：增加了水污染物控制項目石油類、總氮、總磷、陰離子外表活性劑、總鋅、綜合毒性；增加了大氣污染物控制項目顆粒物、氯氣、氮氧化物、苯、錫及其化合物、砷化氫、磷化氫、非甲烷總烴、氰化氫；

調整了局部污染物項目的排放限值；收嚴了懸浮物、化學需氧量、五日生化需氧量、總有機碳等10項水污染物項目的排放限值；收嚴了硫酸霧、氯化氫、揮發性有機物等3項大氣污染物的排放限值；

增加了廠界大氣污染物控制點濃度限值；

更新了局部污染物項目的測定分析方法。

本文件由上海市生態環境局提出、歸口并組織實施。

本文件起草單位：上海市環境科學研究院。

引 言

為貫徹《中華人民共和國環境維護法》中華人民共和國大氣污染防治法》中華人民共和國水污染防治法》上海市環境維護條例》上海市大氣污染防治條例》引導半導體行業企業生產工藝和污染治理技術的進步和可持續發展，結合上海市的實際情況，對DB31/374-2006半導體行業污染物排放規范》進行修訂。

本文件實施之日起，新制定或新修訂的國家大氣污染物排放規范嚴于本文件限值，以及國務院生態環境主管部門或市人民政府發布執行特別排放限值公告的依照從嚴原則，按適用范圍執行相應大氣污染物排放規范。惡臭污染物執行DB31/1025本文件實施后不再執行上海市《大氣污染物綜合排放規范》DB31/933-2015環境影響評價文件或排污許可證要求嚴于本文件或地方規范時，依照批復的環境影響評價文件或排污許可證執行。

本文件由上海市人民政府202□年□□月□□日批準。

半導體行業污染物排放

1范圍

本文件規定了半導體行業企業水和大氣污染物排放控制要求、監測和監督管理要求。

本文件適用于半導體行業企業或生產設施的水和大氣污染物排放管理，以及建設項目的環境影響評價、環境維護設施設計、竣工環境維護驗收、排污許可證核發及其投產后的水和大氣污染物排放管理。

本文件規定的水污染物排放控制要求適用于半導體行業企業直接或間接向其法定邊境外排放水污染物的行為。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。上海反滲透水處理設備

GB/T7466水質 總鉻的測定

GB/T7467水質 六價鉻的測定 二苯碳酰二肼分光光度法

GB/T7470水質 鉛的測定 雙硫腙分光光度法

GB/T7471水質 鎘的測定 雙硫腙分光光度法

GB/T7475水質 銅、鋅、鉛、鎘的測定 原子吸收分光光度法

GB/T7484水質 氟化物的測定 離子選擇電極法

GB/T7485水質 總砷的測定 二乙基二硫代氨基甲酸銀分光光度法

GB/T7494水質 陰離子外表活性劑的測定 亞甲藍分光光度法

GB/T11893水質 總磷的測定 鉬酸銨分光光度法

GB/T11900水質 痕量砷的測定 硼氫化鉀-硝酸銀分光光度法

GB/T11901水質 懸浮物的測定 重量法

GB/T11907水質 銀的測定 火焰原子吸收分光光度法

GB/T11910水質 鎳的測定 丁二酮肟分光光度法

GB/T11912水質 鎳的測定 火焰原子吸收分光光度法

GB/T16157固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態污染物采樣方法

GB/T16489水質 硫化物的測定 亞甲基藍分光光度法

GB37822揮發性有機物無組織排放控制規范

HJ/T27固定污染源排氣中氯化氫的測定 硫氰酸汞分光光度法

HJ/T28固定污染源排氣中氰化氫的測定 異煙酸-吡唑啉酮分光光度法

HJ/T30固定污染源排氣中氯氣的測定 甲基橙分光光度法

HJ/T38固定污染源排氣中非甲烷總烴的測定 氣相色譜法

HJ/T42固定污染源排氣中氮氧化物的測定 紫外分光光度法

HJ/T43固定污染源排氣中氮氧化物的測定 鹽酸萘乙二胺分光光度法

HJ/T55大氣污染物無組織排放監測技術導則

HJ/T60水質 硫化物的測定 碘量法

HJ/T65大氣固定污染源 錫的測定 石墨爐原子吸收分光光度法上海反滲透水處理設備

HJ/T91.1污水監測技術規范

HJ/T195水質 氨氮的測定 氣相分子吸收光譜法

HJ/T199水質 總氮的測定 氣相分子吸收光譜法

HJ/T200水質 硫化物的測定 氣相分子吸收光譜法

HJ/T373固定污染源監測質量保證與質量控制技術規范（試行）

HJ/T397固定源廢氣監測技術規范

HJ/T399水質 化學需氧量的測定 快速消解分光光度法

HJ484水質 氰化物的測定 容量法和分光光度法

HJ485水質 銅的測定 二乙基二硫代氨基甲酸鈉分光光度法

HJ486水質 銅的測定 29-二甲基-110-菲啰啉分光光度法

HJ487水質 氟化物的測定 茜素磺酸鋯目視比色法

HJ488水質 氟化物的測定 氟試劑分光光度法

HJ489水質 銀的測定 3,5-Br2-PA DA P分光光度

HJ490水質 銀的測定 鎘試劑2B分光光度法

HJ493水質 采樣樣品的保管和管理技術規定

HJ494水質 采樣技術指導

HJ495水質 采樣方案設計技術指導

HJ501水質 總有機碳的測定 燃燒氧化-非分散紅外吸收法上海反滲透水處理設備

HJ505水質 五日生化需氧量(BOD5測定稀釋與接種

HJ533環境空氣和廢氣 氨的測定 納氏試劑分光光度法

HJ534環境空氣 氨的測定 次氯酸鈉-水楊酸分光光度法

HJ535水質 氨氮的測定 納氏試劑分光光度法

HJ536水質 氨氮的測定 水楊酸分光光度法

HJ537水質 氨氮的測定 蒸餾-中和滴定法

HJ544固定污染源廢氣 硫酸霧的測定 離子色譜法（暫行）

HJ547固定污染源廢氣 氯氣的測定 碘量法（暫行）

HJ548固定污染源廢氣 氯化氫的測定 硝酸銀容量法（暫行）

HJ549環境空氣和廢氣 氯化氫的測定 離子色譜法(暫行)

HJ583環境空氣 苯系物的測定 固體吸附/熱脫附-氣相色譜法

HJ584環境空氣 苯系物的測定 活性炭吸附/二硫化碳解吸-氣相色譜法

HJ604環境空氣 總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定 直接進樣-氣相色譜法

HJ636水質 總氮的測定 堿性過硫酸鉀消解紫外分光光度法

HJ637水質 石油類和動植物油的測定 紅外分光光度法

HJ657空氣和廢氣 顆粒物中鉛等金屬元素的測定 電感耦合等離子體質譜法

HJ659水質 氰化物等的測定 真空檢測管-電子比色法

HJ644環境空氣 揮發性有機物的測定 吸附管采樣－熱脫附/氣相色譜－質譜法

HJ665水質 氨氮的測定 連續流動-水楊酸分光光度法

HJ666水質 氨氮的測定 流動注射-水楊酸分光光度法

HJ667水質 總氮的測定 連續流動-鹽酸萘乙二胺分光光度法

HJ668水質 總氮的測定 流動注射-鹽酸萘乙二胺分光光度法

HJ670水質 磷酸鹽和總磷的測定 連續流動-鉬酸銨分光光度法

HJ671水質 總磷的測定 流動注射-鉬酸銨分光光度法

HJ688固定污染源廢氣 氟化氫的測定 離子色譜法（暫行）

HJ692固定污染源廢氣 氮氧化物的測定 非分散紅外吸收法

HJ693固定污染源廢氣 氮氧化物的測定 定電位電解法

HJ694水質 汞、砷、硒、鉍和銻的測定 原子熒光法

HJ700水質 65種元素的測定 電感耦合等離子體質譜法

HJ732固定污染源廢氣 揮發性有機物的采樣 氣袋法

HJ734固定污染源VOC測定 固相吸附-熱脫附-氣相色譜-質譜法

HJ759環境空氣 揮發性有機物的測定 罐采樣/氣相色譜-質譜法

HJ776水質 32種元素的測定 電感耦合等離子體發射光譜法

HJ777空氣和廢氣 顆粒物中金屬元素的測定 電感耦合等離子體發射光譜法上海反滲透水處理設備

HJ819排污單位自行監測技術指南 總則

HJ823水質 氰化物的測定 流動注射-分光光度法

HJ826水質 陰離子外表活性劑的測定 流動注射-亞甲基藍分光光度法

HJ828水質 化學需氧量的測定 重鉻酸鹽法

HJ836固定污染源廢氣 低濃度顆粒物的測定 重量法

HJ905惡臭污染環境監測技術規范

HJ908水質 六價鉻的測定 流動注射-二苯碳酰二肼光度法

HJ944排污單位環境管理臺賬及排污許可證執行演講技術規范 總則（試行）

HJ970水質 石油類的測定 紫外分光光度法（試行）

HJ1069水質 急性毒性的測定 斑馬魚卵法

HJ1132固定污染源廢氣 氮氧化物的測定 便攜式紫外吸收法

HJ1147水質 pH值的測定 電極法

污染源自動監控管理方法》國家環境維護總局令 第28號）

環境監測管理方法》國家環境維護總局令 第39號）

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